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工作原理

旋片式真空泵多为中小型真空泵。旋片式真空泵有单级旋片真空泵和双级真空泵两种。所谓双级旋片式真空泵，就是在结构---两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。

旋片式真空泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333pa、1.33pa 和 1.33×10-1(pa)下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和 20%。

图二是双级泵工作原理图，它由两个单级泵串联组成。工作时，被抽气体首先经吸气筒进入高真空级。 当吸入气体压强较高时，一部分气体由排气阀2排出，另一部分气体经低真空级，由排气阀1排出。 当吸入气体压强较低时，日本ulvac真空泵，虽经高真空级压缩，但排气阀2仍不能打开排气，只能经低真空极继续压缩，由排气阀1排出，因双级泵的---真空比单级泵高。