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分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，广州日本爱发科真空泵多少钱，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。广州日本爱发科真空泵服务热线

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真空泵在工作个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。（6）经常调整填料压盖，---填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。（7）定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。（8）真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。（9）真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。广州日本爱发科真空泵服务热线

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水环式真空泵的缺点1）效率低，一般在30%左右，较好的可达50%.2）真空度低，这不仅是因为受到结构上的---，更重要的是受工作液饱和蒸气压的---。由于水环泵中气体压缩是等温的，广州日本爱发科真空泵，故可以抽除、的气体。由于没有排气阀及摩擦表面，故可以抽除带尘埃的气体、可凝性气体和气水混合物。有了这些---的特点，尽管它效率低，仍然得到了广泛的应用。广州日本爱发科真空泵服务热线

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